比較激光表面處理技術(shù)和電子束表面處理技術(shù)的異同點(diǎn)。

電子束、離子束、激光束是表面工程領(lǐng)域內(nèi)的三大載體，號(hào)稱三束改性。都具有高能量密度特性。

離子束加工是一種元素注入過(guò)程，具有輻照損傷、噴丸作用、表面壓縮、形成表面非晶態(tài)，形成彌散化合物質(zhì)點(diǎn)等效應(yīng)，而電子束與激光束的主要作用在高能量，沒有輻照、表面壓縮等特性。

1、加工原理:電子束和離子束的加工原理相似，都是發(fā)生撞擊效應(yīng)、濺射效應(yīng)和 注入效應(yīng)，從而實(shí)現(xiàn)加工;而激光束加工的機(jī)理是熱效應(yīng)。

2、加工裝置:電子束和離子束相似，主要由電子槍系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、 和電源系統(tǒng)做成;而激光束是由激光器、電源、光學(xué)系統(tǒng)、機(jī)械系統(tǒng)等組成。

3、加工特點(diǎn):
電子束: 束徑小、能量密度高; 非接觸加工，加工過(guò)程中工具與加工工件之間不存在明顯的機(jī)械切削力，不產(chǎn)生宏觀 應(yīng)力和變形; 被加工對(duì)象范圍廣; 電子束能量高，加工速度快、效率高; 電子束加工需要一套專用設(shè)備和真空系統(tǒng)，價(jià)格昂貴。

離子束: 加工精度和表面質(zhì)量高;加工材料廣泛;加工方法豐富;性能好，易于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化; 應(yīng)用范圍廣泛，可根據(jù)加工要求選擇。

激光束: 加工精度高; 加工材料范圍廣;加工性能好;加工速度快、效率高; 價(jià)格昂貴 加工方法。

電子束; 電子束掃描曝光; 電子束投影曝光; 電子束表面改性。

離子束: 離子束濺射去除加工;離子束濺射鍍膜加工; 離子束注入加工;離子束曝光加工。

激光束:加工精度高; 加工材料范圍廣; 加工性能好; 加工速度快、效率高; 價(jià)格昂貴。